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關(guān)于無塵車間與靜電的關(guān)系以及靜電的危害分析
來源：www.jjwccj.com 發(fā)布時(shí)間：2019年02月27日
一、無塵車間與靜電
1、無塵車間：半導(dǎo)體、平面液晶顯示器、光電子和生物醫(yī)藥都需要潔凈的生產(chǎn)車間，通常無塵車間是指空間空氣懸浮粒子濃渡被控制在規(guī)定界限內(nèi)的房間或限定空間，這塵埃粒子的粒徑越小和被限定的粒數(shù)越小，潔凈度便越高。
2、無塵車間的靜電：由于無塵車間的潔凈度要求（常規(guī)）
①大量的高絕緣介質(zhì)裝飾材料、地面、墻、門、頂棚、隔斷、工作臺(tái)、椅子等等，這些 材料摩擦容易起電帶電，不易泄漏釋放。地面500V~1000V，擴(kuò)散間塑料地面500V~1500V，瓷磚地面也有500V~1500V，塑料墻紙700V，塑料頂棚OV~1000V，金屬活動(dòng)皮芏椅面500V~3000V。
②人穿潔凈工作服、鞋、步行或工作時(shí)，與不同物質(zhì)設(shè)備器材摩擦要產(chǎn)生靜電，人、衣服、鞋都會(huì)帶電。人穿尼龍衣、塑料膠底鞋緩慢地在清潔的地板上走動(dòng)，人身上帶7000V~8000V靜電壓。在乙烯基地板上行走可帶1200V(10%~20%RH)、250V(65%~90%RH)靜電壓，在地毯上行走可帶35000V(10%~20%RH)、1500V(65%~90%RH)，晶片裝配線工人穿的工作服可達(dá)10KV。
④大量的絕緣器材、裝備和工具，也是重要的靜電電荷源。晶片裝配生產(chǎn)線：晶片裝料盒35KV，有機(jī)玻璃蓋8KV，石英制品1.5KV，晶片托盤6KV，丙烯酸脂蓋20KV，臺(tái)桌面10KV，塑料存貯柜30KV，玻璃纖維晶體載料盒滑過聚丙烯桌面帶10KV。
總之：無塵車間的潔凈度要求越高，靜電帶電便越嚴(yán)重。
二、無塵車間靜電的危害
1、靜電庫侖力：在靜電庫侖力的作用下，吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm，鋁線寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時(shí)，最易使產(chǎn)品報(bào)廢?，F(xiàn)在線徑更細(xì)，氧化膜很薄，粒徑很小的塵粒子就會(huì)損害元器件，這種情形多發(fā)生在腐蝕清洗、光刻、點(diǎn)焊和封裝等工藝過程中。
2、靜電放電：
(1)元器件的絕緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷，觸摸器件腳時(shí)發(fā)生ESD，其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達(dá)20A(10~100s)，不要說高密度，細(xì)線徑，薄SiO2膜的Lsi、Vlsi，就是一般IC、MOS都會(huì)遭受損壞。
一般說器件絕緣柵SiO2薄膜的耐壓場(chǎng)強(qiáng)是E=(5-10)×106V/cm，如果器件SiO2膜厚度取1000，其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會(huì)被擊穿，而人體帶靜電超過50V、100V是極平常的。
(2)造成噪聲、發(fā)射電磁波干擾! ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖，信號(hào)強(qiáng)，相當(dāng)于電路中幾伏的能量，頻率跨越幾MH2甚幾百M(fèi)H2的強(qiáng)大噪聲，可能引起元器件損壞，設(shè)備和傳感器不正常工作，甚至引起設(shè)備死機(jī)。
ESD引起的EMI還會(huì)引發(fā)錯(cuò)誤信號(hào)的輸入，或發(fā)生鎖存現(xiàn)象。如無塵室中，將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車上，晶圓片的ESD會(huì)通過電感傳給手推車，車輪是絕緣的，則EMI的擴(kuò)散會(huì)引起晶圓片處理機(jī)死機(jī)。
(3)電擊人體：人體的ESD或?qū)θ梭w的ESD當(dāng)超過人體電擊極限電流5mA以上時(shí)，人都會(huì)有各種傷害感覺，造成工作人員的情緒不安，操作錯(cuò)誤。
無塵車間的半導(dǎo)體，平面顯示器，光電子等無塵車間，盡管做了很多工作，但無塵車間的靜電問題仍然影響著生產(chǎn)安全和產(chǎn)品產(chǎn)量，影響著制造成本和效益，影響產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。據(jù)國(guó)外工業(yè)專家估計(jì)，美國(guó)每年由于靜電造成產(chǎn)品的損失平均在8-33%，還有人估計(jì)美國(guó)每年靜電對(duì)電子工業(yè)毀損價(jià)值達(dá)100億美元;日本80年代曾對(duì)報(bào)廢的電子產(chǎn)品進(jìn)行分析，由ESD引起的損失占1/3。我國(guó)半導(dǎo)體、平面液晶顯示、光電子等都起步較晚，但靜電危害也時(shí)有發(fā)生，成品率較低。而銀行、證券公司、機(jī)要數(shù)據(jù)庫、監(jiān)控中心，電力調(diào)度室等等，若出現(xiàn)ESD就很容易引起干擾，數(shù)據(jù)遺失，情形就更嚴(yán)重了。
成都蘇蓉凈化設(shè)備有限公司多年從事無塵車間安裝業(yè)務(wù)，無塵車間設(shè)計(jì)，藥廠GMP車間設(shè)計(jì)，電子潔凈車間設(shè)計(jì)，化妝品凈化房設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，主要為大家提供：無塵車間供應(yīng)廠商、無塵車間供應(yīng)廠家位置、無塵車間供應(yīng)廠家報(bào)價(jià)等，歡迎來電。
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